《半導體技術(shù)基礎(chǔ)》針對高職教學及學生的特點,根據(jù)微電子、電子制造、光電子以及光伏等專業(yè)人才培養(yǎng)方案的需要,系統(tǒng)地介紹了半導體技術(shù)相關(guān)的基礎(chǔ)知識!栋雽w技術(shù)基礎(chǔ)》主要包括半導體物理基礎(chǔ)、硅半導體材料基礎(chǔ)、化合物半導體材料基礎(chǔ)、P.N結(jié)、雙極型晶體管、MOS場效應(yīng)晶體管、其他常用半導體器件、半導體工藝化學、半導體集成電路設(shè)計原理、半導體集成電路設(shè)計方法與制造工藝等內(nèi)容。
《半導體技術(shù)基礎(chǔ)》“以應(yīng)用為目的,以實用為主,理論以必需、夠用為度”作為編寫原則,突出理論的實用性,語言通俗易懂,內(nèi)容全面,重點突出,層次清楚,結(jié)構(gòu)新穎,實用性強。
《半導體技術(shù)基礎(chǔ)》可作為微電子、電子制造、光電子以及光伏等相關(guān)專業(yè)的高職高專學生的教材或?qū)W習參考用書。
第1章 半導體技術(shù)概述
1.1 半導體技術(shù)
1.1.1 半導體集成電路發(fā)展史
1.1.2 半導體技術(shù)的發(fā)展趨勢
1.2 半導體與電子制造
1.2.1 電子制造基本概念
1.2.2 電子制造業(yè)的技術(shù)核心
習題
第2章 半導體物理基礎(chǔ)
2.1 半導體能帶
2.1.1 電子的共有化
2.1.2 能帶
2.1.3 雜質(zhì)能級
2.2 半導體的載流子運動
2.2.1 載流子濃度與費米能級
2.2.2 載流子的運動
習題
第3章 硅半導體材料基礎(chǔ)
3.1 半導體材料概述
3.1.1 半導體材料的發(fā)展
3.1.2 半導體材料的分類
3.2 硅材料的主要性質(zhì)
3.2.1 硅材料的化學性質(zhì)
3.2.2 硅材料的晶體結(jié)構(gòu)
3.2.3 硅材料的電學性質(zhì)
3.2.4 硅材料的熱學性質(zhì)
3.2.5 硅材料的機械性質(zhì)
3.3 硅單晶的制備技術(shù)
3.3.1 高純硅的制備
3.3.2 硅的提純技術(shù)
3.3.3 硅的晶體生長
3.3.4 晶體中雜質(zhì)與缺陷
3.4 集成電路硅襯底加工技術(shù)
3.4.1 硅單晶拋光片的制備
3.4.2 硅單晶拋光片的質(zhì)量檢測
3.5 硅的外延生長技術(shù)
3.5.1 外延生長概述
3.5.2 硅氣相外延生長技術(shù)
習題
第4章 化合物半導體材料基礎(chǔ)
第5章 P.N結(jié)
第6章 雙極型晶體管
第7章 MOS場效應(yīng)晶體管
第8章 其他常用半導體器件
第9章 半導體工藝化學基礎(chǔ)
第10章 半導體集成電路設(shè)計原理
第11章 半導體集成電路設(shè)計方法與制造工藝
參考文獻