本書稿主要介紹集成電路的制造。集成電路制造是半導體產(chǎn)業(yè)鏈中關鍵的一環(huán), 承上繼下, 起著極為重要的作用, 同時也面臨各種挑戰(zhàn)。本冊對集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)的工作內(nèi)容做了簡明扼要的介紹, 由復旦大學微電子學院的幾位教授共同編著而成, 包括了芯片介紹、芯片制造工藝整合制程、光刻工藝技術、材料刻蝕技術、薄膜制備技術、化學機械拋光技術、摻雜工藝技術和封裝工藝技術。一方面以青少年喜聞樂見的類比方式普及集成電路制造的基礎知識, 另一方面引發(fā)他們未來從事集成電路制造設備研發(fā)的興趣。