本書圍繞MEMS陀螺儀和MEMS加速度計的典型結構、誤差機理、關鍵技術、制造工藝和測試技術等問題，由基本原理和公式推導出發(fā)，緊密結合工程實際，系統(tǒng)深入地對高性能MEMS慣性儀表技術進行了闡述。本書共7章，第1章概述；第2章介紹了MEMS陀螺儀典型結構及誤差機理；第3章介紹了高性能MEMS陀螺儀關鍵技術；第4章介紹了高性能MEMS加速度計典型結構及誤差機理；第5章介紹了高性能MEMS加速度計關鍵技術；第6章介紹了高性能MEMS慣性器件工藝技術；第7章介紹了高性能MEMS慣性器件測試技術。