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射頻高阻硅基氮化鎵異質結外延器件仿真設計及制備技術

射頻高阻硅基氮化鎵異質結外延器件仿真設計及制備技術

定  價:79 元

        

  • 作者:關赫著
  • 出版時間:2024/2/1
  • ISBN:9787561292181
  • 出 版 社:西北工業(yè)大學出版社
  • 中圖法分類:TN4 
  • 頁碼:214頁
  • 紙張:
  • 版次:
  • 開本:24cm
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本書以行業(yè)內高阻硅(HRSi)基氨化鎵外延和材料的研究成果為基礎,以仿真設計為切入點,結合制備工藝,開展了基于高阻Si(111)襯底的氮化鎵(GaN)異質結外延器件的技術研究。
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