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薄膜的設計、制備及應用
本書綜合了國內(nèi)外薄膜光學和薄膜技術的研究內(nèi)容、體系,最新的薄膜技術與理論發(fā)展成就,及時將新技術融入本教材,針對相關專業(yè)特點,構建了全面且富有特色的內(nèi)容體系。在論述過程中注重基本概念的闡述,敘述深入淺出,注意原理與技術相聯(lián)系,理論與實踐相結合。全書共有8章。第1-4章,主要介紹薄膜光學的基本理論和特性設計與計算基礎,并著重介紹減反射膜、高反射膜、分束鏡和濾光片等幾種實用光學器件的設計理論;第5章對常見的薄膜制備方法的基本原理與方式進行詳細介紹,對膜層厚度分布、膜厚監(jiān)控和測試方法進行介紹;第6章對薄膜生長過程、生長模式、生長機理及薄膜的結構和缺陷等問題進行詳細討論;第7章探討薄膜的表面和界面問題;第8章對薄膜的光學常數(shù)、光學性能、薄膜成分、薄膜結構及薄膜附著力等特性測試方法進行闡述;第9章介紹幾種當前研究熱點的薄膜材料體系。
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