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納米功能薄膜
本書(shū)系統(tǒng)論述了納米功能薄膜的基本概念和內(nèi)涵、典型制備工藝、功能特性的物理基礎(chǔ)、典型體系及其應(yīng)用,也介紹了該領(lǐng)域最新的研究進(jìn)展和前沿動(dòng)態(tài)。全書(shū)共分為7章:概論;納米薄膜的制備工藝;納米薄膜性能的物理基礎(chǔ);金屬及半金屬基納米薄膜;金屬氧化物納米薄膜;聚合物基納米薄膜;納米薄膜的典型應(yīng)用。
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