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脆性光學(xué)元件彈性域超光滑表面加工技術(shù)
本書內(nèi)容以脆性光學(xué)元件原子級(jí)超光滑加工為應(yīng)用背景,提出了脆性光學(xué)元件彈性域超光滑加工方法,對(duì)光學(xué)材料彈性域去除機(jī)理展開了全面深入的研究。書稿具有較高的學(xué)術(shù)價(jià)值,作者的研究方法,過程和結(jié)果對(duì)同行業(yè)研究者具有借鑒意義和參考價(jià)值,是一部值得出版的學(xué)術(shù)著作。隨著光學(xué)和微電子學(xué)領(lǐng)域及其相關(guān)學(xué)科的發(fā)展對(duì)超光滑表面的需求量越來越大,同時(shí)加工要求也越來越高,不但要求達(dá)到原子級(jí)的超光滑表面,同時(shí)要求加工表面具有優(yōu)良的完整性。為滿足現(xiàn)代科技發(fā)展對(duì)超光滑表面提出的嚴(yán)格要求,本書針對(duì)光學(xué)元件的彈性域去除機(jī)理展開全面系統(tǒng)的研究,探索如何獲取原子級(jí)超光滑表面。本書研究可為流體動(dòng)壓超光滑加工在實(shí)際應(yīng)用中的推廣奠定基礎(chǔ)。
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