本書為高等工科院校測(cè)控技術(shù)與儀器專業(yè)“精密儀器設(shè)計(jì)”課程的教材，從精密儀器精度理論、設(shè)計(jì)原理到精密儀器光、機(jī)、電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計(jì)方法做了系統(tǒng)的介紹。全書共分為八章，分別為精密儀器概論、精度理論、總體設(shè)計(jì)、機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、伺服控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)計(jì)實(shí)例。本書內(nèi)容側(cè)重于光機(jī)電一體化的精密儀器的基本工作原理、主要技術(shù)、設(shè)計(jì)方法等工程基礎(chǔ)和本專業(yè)基本理論的知識(shí)體系的形成，以及精密儀器設(shè)計(jì)和實(shí)施實(shí)驗(yàn)的能力訓(xùn)練。