本書為高等工科院校測控技術(shù)與儀器專業(yè)“精密儀器設(shè)計”課程的教材，從精密儀器精度理論、設(shè)計原理到精密儀器光、機(jī)、電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計方法做了系統(tǒng)的介紹。全書共分為八章，分別為精密儀器概論、精度理論、總體設(shè)計、機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計、伺服控制系統(tǒng)設(shè)計和精密儀器設(shè)計實例。本書內(nèi)容側(cè)重于光機(jī)電一體化的精密儀器的基本工作原理、主要技術(shù)、設(shè)計方法等工程基礎(chǔ)和本專業(yè)基本理論的知識體系的形成，以及精密儀器設(shè)計和實施實驗的能力訓(xùn)練。