目錄
叢書(shū)序一
叢書(shū)序二
前言
第1章 緒論 1
1.1 干式真空泵的定義 1
1.2 干式真空泵的分類(lèi) 1
1.3 干式真空泵抽出腐蝕顆粒物的方法 2
1.4 干式真空泵的選擇與應(yīng)用 3
1.5 國(guó)內(nèi)干式真空泵的發(fā)展空間和面臨的挑戰(zhàn) 5
參考文獻(xiàn) 5
第2章 干式渦旋真空泵 7
2.1 概述 7
2.1.1 干式渦旋真空泵的特點(diǎn) 7
2.1.2 干式渦旋真空泵的發(fā)展現(xiàn)狀 7
2.2 干式渦旋真空泵的工作原理 10
2.2.1 單腔干式渦旋真空泵的工作原理 10
2.2.2 雙腔干式渦旋真空泵的工作原理 13
2.3 干式渦旋真空泵的型線 14
2.3.1 干式渦旋真空泵的幾種特殊型線 14
2.3.2 干式渦旋真空泵的典型型線 17
2.4 干式渦旋真空泵的主要結(jié)構(gòu) 26
2.4.1 典型干式渦旋真空泵的基本結(jié)構(gòu) 26
2.4.2 干式渦旋真空泵的密封 36
2.5 干式渦旋真空泵的應(yīng)用 38
2.5.1 干式渦旋真空泵在薄膜工程中的應(yīng)用 38
2.5.2 干式渦旋真空泵在醫(yī)療設(shè)備上的應(yīng)用 40
2.5.3 干式渦旋真空泵在大科學(xué)工程和先進(jìn)儀器上的應(yīng)用 42
參考文獻(xiàn) 46
第3章 干式螺桿真空泵 49
3.1 概述 49
3.2 干式螺桿真空泵的工作原理與特點(diǎn) 49
3.2.1 干式螺桿真空泵的工作原理 49
3.2.2 干式螺桿真空泵的特點(diǎn) 50
3.3 干式螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與計(jì)算 51
3.3.1 干式螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)組成與布局 51
3.3.2 螺桿轉(zhuǎn)子的支撐方式 52
3.3.3 干式螺桿真空泵的驅(qū)動(dòng)方式 53
3.3.4 干式螺桿真空泵中的動(dòng)密封 55
3.3.5 冷卻系統(tǒng)與溫度控制 56
3.3.6 抽速與壓縮比計(jì)算 58
3.4 螺桿轉(zhuǎn)子的型線設(shè)計(jì) 59
3.4.1 螺桿轉(zhuǎn)子型線的三種表征 60
3.4.2 常用端面型線的基本構(gòu)成 61
3.4.3 梯形齒轉(zhuǎn)子端面型線概述 62
3.4.4 梯形齒轉(zhuǎn)子端面型線方程 63
3.4.5 梯形齒轉(zhuǎn)子端面型線的有效抽氣面積 64
3.4.6 端面型線的實(shí)用化修正 65
3.5 螺桿轉(zhuǎn)子的螺旋展開(kāi)與動(dòng)平衡 68
3.5.1 等螺距轉(zhuǎn)子 68
3.5.2 一段漸變式變螺距轉(zhuǎn)子 69
3.5.3 二段突變式變螺距轉(zhuǎn)子 72
3.5.4 二段漸變式變螺距轉(zhuǎn)子 73
3.5.5 三段式變螺距轉(zhuǎn)子 74
3.5.6 變截面螺桿轉(zhuǎn)子 75
3.5.7 螺桿轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡 77
3.6 干式螺桿真空泵抽氣過(guò)程的熱力分析 80
3.6.1 干式螺桿真空泵抽氣過(guò)程的分解 80
3.6.2 干式螺桿真空泵抽氣過(guò)程的熱力參數(shù) 83
3.6.3 干式螺桿真空泵的性能指標(biāo) 89
3.7 干式螺桿真空泵的工程應(yīng)用 92
3.7.1 干式螺桿真空泵在醫(yī)藥化工領(lǐng)域的應(yīng)用 92
3.7.2 干式螺桿真空泵在鋼鐵冶金領(lǐng)域的應(yīng)用 93
3.7.3 干式螺桿真空泵在空間環(huán)境模擬領(lǐng)域的應(yīng)用 94
3.7.4 干式螺桿真空泵在油氣回收技術(shù)中的應(yīng)用 97
3.7.5 干式螺桿真空泵在新能源領(lǐng)域的應(yīng)用 98
參考文獻(xiàn) 101
第4章 干式復(fù)合真空泵 102
4.1 概述 102
4.2 干式復(fù)合真空泵的工作原理 105
4.2.1 渦輪級(jí)的工作原理 105
4.2.2 牽引級(jí)的工作原理 114
4.2.3 旋渦級(jí)的工作原理 127
4.3 干式復(fù)合真空泵的基本結(jié)構(gòu) 133
4.3.1 渦輪級(jí)的基本結(jié)構(gòu) 133
4.3.2 牽引級(jí)的基本結(jié)構(gòu) 140
4.3.3 旋渦級(jí)的基本結(jié)構(gòu) 144
4.4 干式復(fù)合真空泵的應(yīng)用 148
參考文獻(xiàn) 149
第5章 干式多級(jí)真空泵 152
5.1 概述 152
5.2 干式多級(jí)真空泵的工作原理及主要參數(shù)計(jì)算 152
5.2.1 干式多級(jí)羅茨真空泵的工作原理及主要參數(shù)計(jì)算 153
5.2.2 干式多級(jí)爪型真空泵的工作原理及主要參數(shù)計(jì)算 159
5.3 常見(jiàn)轉(zhuǎn)子型線及其方程 164
5.3.1 羅茨轉(zhuǎn)子型線及其方程 164
5.3.2 爪型轉(zhuǎn)子型線及其方程 174
5.4 干式多級(jí)真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)與應(yīng)用 184
5.4.1 干式多級(jí)羅茨真空泵的結(jié)構(gòu) 184
5.4.2 干式多級(jí)爪型真空泵的結(jié)構(gòu) 187
5.4.3 干式多級(jí)復(fù)合型真空泵的結(jié)構(gòu) 192
5.4.4 干式多級(jí)真空泵的產(chǎn)品與應(yīng)用 194
參考文獻(xiàn) 200