第一章ZnO結(jié)構(gòu)及性質(zhì)
1.1引言
1.2ZnO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)
1.3ZnO薄膜的光電特性
1.4ZnO薄膜的發(fā)光機(jī)理
1.5ZnO薄膜的研究現(xiàn)狀
1.5.1ZnO的摻雜特性和pn結(jié)的制作
1.5.2ZnO薄膜的應(yīng)用前景
1.6ZnO薄膜的制備方法
1.6.1分子束外延
1.6.2金屬有機(jī)物氣相外延
1.6.3純鋅膜氧化法
1.6.4磁控濺射法
1.6.5脈沖激光沉積法
1.6.6溶膠一凝膠法

第一章ZnO結(jié)構(gòu)及性質(zhì)
1.1引言
1.2ZnO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)
1.3ZnO薄膜的光電特性
1.4ZnO薄膜的發(fā)光機(jī)理
1.5ZnO薄膜的研究現(xiàn)狀
1.5.1ZnO的摻雜特性和pn結(jié)的制作
1.5.2ZnO薄膜的應(yīng)用前景
1.6ZnO薄膜的制備方法
1.6.1分子束外延
1.6.2金屬有機(jī)物氣相外延
1.6.3純鋅膜氧化法
1.6.4磁控濺射法
1.6.5脈沖激光沉積法
1.6.6溶膠一凝膠法
1.6.7噴霧熱解法
1.6.8原子層外延法
參考文獻(xiàn)
第二章ZnO的摻雜特性
2.1引言
2.2ZnO的n型摻雜
2.2.1Al摻雜ZnO薄膜
2.2.2在有機(jī)基體上沉積ZnO:Al薄膜
2.2.3F摻雜ZnO薄膜
2.2.4Mn摻雜ZnO薄膜
2.2.5Ga摻雜ZnO薄膜
2.3ZnO的p型摻雜
2.3.1N摻雜ZnO薄膜
2.3.2P摻雜ZnO薄膜
2.3.3Ag摻雜ZnO薄膜
2.4微觀組織、結(jié)構(gòu)特性和發(fā)光性能的表征
2.5脈沖激光沉積法制備薄膜的工藝參數(shù)
2.6ZnO的N及Al、N共摻雜
參考文獻(xiàn)
第三章不同鋁含量沉積ZnO:Al薄膜
3.1引言
3.2Al含量對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)的影響
3.3Al含量對ZnO:Al薄膜發(fā)光性能的影響
3.4Al含量對ZnO:Al薄膜電學(xué)性能的影響
3.5基體溫度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性和透光率的影響
3.6不同Al含量對ZnO:Al薄膜透光性能的影響
3.7基體溫度對ZnO:Al薄膜發(fā)光性能的影響
參考文獻(xiàn)
第四章ZnO薄膜的低溫沉積
4.1引言
4.2室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)的影響
4.3室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜可見光波段透光率的影響
4.4室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜PL譜的影響
4.5在有機(jī)基體上沉積ZnO:Al薄膜
4.5.1氧氣壓力對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性的影響
4.5.2基體溫度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性的影響
4.5.3有機(jī)基體上沉積ZnO:AJ薄膜的發(fā)光性能
參考文獻(xiàn)
第五章N摻雜ZnO薄膜及Al、N共摻雜
5.1引言
5.2N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的結(jié)晶性能
5.3N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的發(fā)光性能
5.4N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的電學(xué)性能
5.5N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的XPS分析
參考文獻(xiàn)
第六章ZnO結(jié)型器件
6.1引言
6.2氧化鋅同質(zhì)pn結(jié)
6.3氧化鋅異質(zhì)pn結(jié)
6.3.1氧化鋅與GaN異質(zhì)結(jié)的能帶結(jié)構(gòu)
6.3.2ZnO/GaN異質(zhì)結(jié)發(fā)光二極管
參考文獻(xiàn)
第七章ZnO薄膜的應(yīng)用
7.1引言
7.2ZnO氣敏元件
7.3ZnO透明導(dǎo)電薄膜
7.4ZnO薄膜晶體管
7.5ZnO發(fā)光器件
7.6ZnO光電導(dǎo)紫外探測器
7.7ZnO聲表面波器件
參考文獻(xiàn)